一、管式退火炉用途
管式退火炉，管式扩散炉、管式烧结炉、管式合金炉是我公司根据客户需求个性化专业定制的高温热处理设备，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，我公司的高温电炉关键部件全部采用进口部件，仿国外先进热处理制造技术，已经被中科院、国内各大院校、国内多家知名厂家选为长期供货商，专业团队设计制造，可根据客户不同需求定制。
二、管式退火炉特点
◆软着陆载片装置
软着陆送料装置，避免了sic桨的遮挡影响，提高了扩散均匀性，同时桨的清洗周期大幅度延长。
◆高精度温度控制
新型炉体设计，提高了温度稳定性；配合高精度温控仪的使用，保证工艺过程中温度的快速稳定。
◆高性能进口元器件组合
关键件采用进口管件，且为半导体级别；优质的元器件组合，从而保证成膜质量。
三、管式退火炉主要技术参数
◆工艺管数量：可根据客户需求制作为1-4管
◆工艺管口径：φ90-360mm（3～12英寸）
◆结构型式：卧式热壁型或立式
◆工作温度范围：400～1280℃
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆）
◆气体流量设定精度:±1％f.s
◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s
◆超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）
噪音：≤62db（a）
震动：≤3μm
◆控制方式：
工业微机控制
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
可根据客户需求定制各种。专业团队个性化定做，厂家直接供货，欢迎广大客户来电来函。